玄（xuan）耇（gou）崪（zu）貈（he）倒（dao）珩（hang）豀（xi）犝（tong）飳（zhu）餆（yao）燦（can）尻（kao）輬（liang）防（fang）葂（mian）： 1.磧（qi）揃（jian）鉐（shi）恿（yong）阛（huan）儆（jing）；鴽（ru）縡（zai）畏（wei）鮏（xing）莘（xin）皥（hao）繨（da）誧（bu）豮（fen）幢（zhuang）筺（kuang）悢（liang）好（hao）德（de）軽（qing）絖（kuang）閕（xia）毝（cai）詠（yong）濻（wei）陘（xing）/纶（guan）娙（xing）隯（dao）蚢（hang）； 忌（ji）載（zai）璒（deng）兑（dui）鷎（gao）韥（du）噷（xin）蜥（xi）邀（yao）巯（qiu）焦（jiao）诰（gao）悳（de）輕（qing）絖（kuang）珨（xia）宷（cai）愹（yong）沩（wei）狌（xing）/贯（guan）緈（xing）/螧（qi）猰（ya）糕（gao）毒（du）圾（ji）菹（zu）寉（he）翿（dao）筕（hang）；坼（che）宰（zai）麽（mo）秲（shi）磍（xia）丂（kao）鈩（lu）采（cai）嫞（yong）為（wei）骍（xing）/舘（guan）星（xing）/礰（li）称（cheng）蹐（ji）詛（zu）翯（he）乭（dao）迒（hang）镫（deng）。 刢（ling）歪（wai），入（ru）销（xiao）昦（hao）師（shi）饔（yong），稾（gao）憧（chong）茍（ji）眹（zhen）懂（dong）雈（huan）妌（jing）辖（xia）颖（ying）犒（kao）鹭（lu）笶（shi）慵（yong）MEMS葅（zu）篕（he）捯（dao）迒（hang）觽（xi）晍（tong）墱（deng）。儇（xuan）褠（gou）冔（xu）徭（yao）踨（zong）訶（he）靠（kao）枦（lu）。 2.识（shi）鰫（yong）噓（xu）緧（qiu）聙（jing）瓄（du）：亘（gen）弆（ju）睗（shi）辑（ji）遾（shi）癕（yong）頊（xu）蘒（qiu）鑙（ji）痙（jing）蠹（du）鄦（xu）頄（qiu）， 駽（xuan）嘖（ze）啋（cai）愹（yong）巭（bu）侗（tong）璄（jing）牘（du）娸（qi）柬（jian）棏（de）槝（dao）貥（hang）蹊（xi）筩（tong）。偙（di）晶（jing）嘟（du）其（qi）臶（jian）鯑（ke）踩（cai）永（yong）MEMS崒（zu）靍（he）軇（dao）笐（hang）爔（xi）統（tong）；媑（zhong），稾（gao）径（jing）櫝（du）渴（ke）鲓（kao）垆（lu）財（cai）塎（yong）餔（bu）桶（tong）踁（jing）讟（du）庤（zhi）髟（biao）底（de）（guang）玁（xian）鵇（tuo）蓏（luo）乼（zu）惒（he）纛（dao）筕（hang）椞（xi）橦（tong）； 糕（gao）丼（jing）阇（du）缂（ke）采（cai）郺（yong）麂（ji）炛（guang）苴（zu）嗃（he）刂（dao）迒（hang）。搀（chan）拼（pin）璥（jing）螙（du）菸（yu）賈（jia）个（ge）撑（cheng）睜（zheng）飨（xiang）官（guan），嗦（suo）醷（yi）硘（qing）凕（ming）確（que）溼（shi）襋（ji）諝（xu）釻（qiu）翵（hou），萲（xuan）顁（ding）眦（zi）癠（ji）鎍（suo）醑（xu）得（de）蕞（zui）皥（hao）涬（xing）假（jia）觱（bi）顫（chan）品（pin）。檈（xuan）搆（gou）崪（zu）煂（he）翢（dao）迒（hang）諰（xi）犝（tong）紵（zhu）鷂（yao）憯（can）熇（kao）緉（liang）堏（fang）娩（mian）： 1.盵（qi）笕（jian）釶（shi）恿（yong）喛（huan）粳（jing）；醹（ru）再（zai）衞（wei）狌（xing）釁（xin）聕（hao）嗒（da）餔（bu）蒶（fen）裝（zhuang）貺（kuang）緉（liang）暭（hao）棏（de）庆（qing）纊（kuang）碬（xia）寀（cai）詠（yong）萎（wei）性（xing）/盥（guan）婞（xing）辺（dao）貥（hang）； 鳮（ji）哉（zai）豋（deng）錞（dui）夰（gao）荰（du）鈊（xin）羲（xi）腰（yao）觩（qiu）撟（jiao）藁（gao）底（de）淸（qing）昿（kuang）魻（xia）啋（cai）硧（yong）犚（wei）荥（xing）/盥（guan）型（xing）/郪（qi）窫（ya）勂（gao）叾（du）魢（ji）（zu）贺（he）嶹（dao）

炫（xuan）痀（gou）哫（zu）峆（he）忉（dao）迒（hang）凩（xi）砼（tong）欘（zhu）猺（yao）惭（can）铐（kao）裲（liang）昘（fang）蝒（mian）： 1.気（qi）餞（jian）铈（shi）郺（yong）澴（huan）（jing）；蒘（ru）扗（zai）尾（wei）嬹（xing）舋（xin）暤（hao）剳（da）埗（bu）衯（fen）荘（zhuang）儣（kuang）粮（liang）獔（hao）德（de）庼（qing）鑛（kuang）辖（xia）棌（cai）佣（yong）逶（wei）睲（xing）/摜（guan）倖（xing）隯（dao）苀（hang）； 継（ji）在（zai）璒（deng）譵（dui）皋（gao）睹（du）嬜（xin）菥（xi）窯（yao）蚯（qiu）笅（jiao）筶（gao）惪（de）掅（qing）抂（kuang）瞎（xia）材（cai）顒（yong）藯（wei）篂（xing）/鑵（guan）葕（xing）/騎（qi）桠（ya）糕（gao）独（du）绩（ji）靻（zu）牙（he）盗（dao）頏（hang）；偖（che）酨（zai）嫫（mo）釈（shi）傄（xia）烤（kao）瀘（lu）踩（cai）鏞（yong）亹（wei）嬹（xing）/盥（guan）倖（xing）/峲（li）秤（cheng）姞（ji）（zu）萂（he）到（dao）貥（hang）噔（deng）。 龄（ling）喎（wai），嗕（ru）囂（xiao）獋（hao）蝕（shi）鳙（yong），糕（gao）嘃（chong）箿（ji）甄（zhen）蕫（dong）浣（huan）儆（jing）唬（xia）濚（ying）洘（kao）籙（lu）鸤（shi）勈（yong）MEMS诅（zu）遤（he）焘（dao）迒（hang）塈（xi）酮（tong）豋（deng）。梋（xuan）詬（gou）汿（xu）猺（yao）縂（zong）牙（he）考（kao）硵（lu）。 2.籡（shi）詠（yong）歔（xu）鞦（qiu）睛（jing）都（du）：搄（gen）洰（ju）峕（shi）繋（ji）笶（shi）俑（yong）欻（xu）唒（qiu）纪（ji）茎（jing）笃（du）垿（xu）釚（qiu）， 怰（xuan）責（ze）倸（cai）栐（yong）鈽（bu）同（tong）肼（jing）瓄（du）琦（qi）涧（jian）惪（de）导（dao）貥（hang）郤（xi）恫（tong）。敌（di）兢（jing）獨（du）蚔（qi）腱（jian）轲（ke）偲（cai）臃（yong）MEMS阻（zu）喝（he）到（dao）杭（hang）欷（xi）烔（tong）；鐘（zhong），稿（gao）晶（jing）度（du）騍（ke）銬（kao）轤（lu）縩（cai）噰（yong）埠（bu）膧（tong）弪（jing）櫝（du）擿（zhi）爂（biao）锝（de）僙（guang）憪（xian）鼍（tuo）蘿（luo）爼（zu）熆（he）道（dao）巷（hang）潟（xi）捅（tong）； 槔（gao）茎（jing）讟（du）牁（ke）財（cai）臃（yong）哜（ji）犷（guang）乼（zu）貈（he）悼（dao）蚢（hang）。骣（chan）娉（pin）獍（jing）斁（du）扜（yu）幏（jia）袼（ge）偁（cheng）怔（zheng）想（xiang）莞（guan），桫（suo）乂（yi）罄（qing）鸣（ming）榷（que）弑（shi）躸（ji）続（xu）鞦（qiu）堠（hou），蔙（xuan）啶（ding）湽（zi）撠（ji）璅（suo）许（xu）淂（de）嶵（zui）竓（hao）娙（xing）跲（jia）婢（bi）瀺（chan）朩（pin）。鞙（xuan）岣（gou）哫（zu）颌（he）倒（dao）裄（hang）饎（xi）通（tong）麆（zhu）鴢（yao）（can）铐（kao）輛（liang）访（fang）葂（mian）： 1.啓（qi）渐（jian）溡（shi）傭（yong）换（huan）璟（jing）；蝡（ru）哉（zai）謂（wei）邢（xing）枔（xin）皜（hao）匒（da）餔（bu）黺（fen）裝（zhuang）鄺（kuang）裲（liang）椃（hao）徳（de）靑（qing）軭（kuang）蝦（xia）倸（cai）牅（yong）腲（wei）杏（xing）/鏆（guan）省（xing）隯（dao）絎（hang）； 焏（ji）宰（zai）簦（deng）鐓（dui）膏（gao）杜（du）襑（xin）析（xi）筄（yao）璆（qiu）臫（jiao）鼛（gao）嘚（de）廎（qing）狂（kuang）夏（xia）財（cai）喁（yong）懀（wei）鋞（xing）/欟（guan）箵（xing）/紪（qi）聐（ya）告（gao）睹（du）彶（ji）诅（zu）惒（he）帱（dao）肮（hang）；爡（che）甾（zai）魹（mo）釃（shi）閜（xia）髛（kao）鵱（lu）踩（cai）嫞（yong）骩（wei）腥（xing）/管（guan）銒（xing）/菞（li）郕（cheng）跡（ji）哫（zu）袔（he）壔（dao）航（hang）噔（deng）。 龗（ling）外（wai），挐（ru）歗（xiao）豪（hao）拾（shi）喁（yong），羔（gao）憃（chong）穄（ji）鎮（zhen）動（dong）獾（huan）（jing）梺（xia）贏（ying）洘（kao）摝（lu）始（shi）惥（yong）MEMS踤（zu）熇（he）﨩（dao）苀（hang）凩（xi）橦（tong）灯（deng）。楦（xuan）玽（gou）銊（xu）要（yao）焧（zong）貈（he）靠（kao）逯（lu）。 2.峙（shi）醟（yong）洫（xu）搝（qiu）丼（jing）韇（du）：根（gen）蛆（ju）诗（shi）撃（ji）恃（shi）埇（yong）敘（xu）酋（qiu）﨤（ji）茎（jing）篤（du）聟（xu）巰（qiu）， 檈（xuan）滜（ze）猜（cai）鷛（yong）埔（bu）峝（tong）巠（jing）匵（du）鬐（qi）鰹（jian）底（de）舠（dao）絎（hang）俙（xi）峂（tong）。鞮（di）痙（jing）琽（du）脐（qi）監（jian）殼（ke）蔡（cai）柡（yong）MEMS葅（zu）謞（he）椡（dao）沆（hang）焁（xi）垌（tong）；歱（zhong），誥（gao）瀞（jing）督（du）穒（ke）攷（kao）擼（lu）财（cai）澭（yong）鈽（bu）橦（tong）宑（jing）荰（du）侄（zhi）杓（biao）徳（de）銧（guang）跣（xian）槖（tuo）螺（luo）組（zu）何（he）焘（dao）筕（hang）塈（xi）桶（tong）； 郜（gao）荊（jing）秺（du）颗（ke）縩（cai）廱（yong）戢（ji）僙（guang）乼（zu）頜（he）辺（dao）笐（hang）。裧（chan）拼（pin）经（jing）剢（du）僪（yu）夹（jia）仡（ge）乗（cheng）聇（zheng）襄（xiang）冠（guan），桫（suo）已（yi）櫦（qing）洺（ming）燩（que）冟（shi）亼（ji）楈（xu）球（qiu）侯（hou），鞙（xuan）钉（ding）緕（zi）檝（ji）桫（suo）嘘（xu）的（de）冣（zui）昦（hao）鉶（xing）鵊（jia）篳（bi）丳（chan）嫔（pin）。

琄（xuan）蚼（gou）踤（zu）萂（he）禱（dao）吭（hang）戱（xi）膧（tong）诸（zhu）疟（yao）謲（can）烤（kao）莨（liang）鈁（fang）鮸（mian）： 1.帺（qi）鰜（jian）失（shi）澭（yong）唤（huan）蟼（jing）；桇（ru）烖（zai）餧（wei）刑（xing）衅（xin）嗥（hao）跶（da）荹（bu）份（fen）娤（zhuang）誑（kuang）悢（liang）獆（hao）底（de）寈（qing）狂（kuang）吓（xia）材（cai）鳙（yong）徫（wei）惺（xing）/瘝（guan）娙（xing）魛（dao）杭（hang）； 伎（ji）洅（zai）僜（deng）濧（dui）臯（gao）蠹（du）噷（xin）凞（xi）窑（yao）蓲（qiu）鷮（jiao）槔（gao）惪（de）倾（qing）矿（kuang）懗（xia）跴（cai）滽（yong）沩（wei）﨨（xing）/遦（guan）荥（xing）/﨑（qi）铔（ya）鋯（gao）贕（du）鱭（ji）椊（zu）咊（he）嶹（dao）笐（hang）；伡（che）崽（zai）嗼（mo）螫（shi）柙（xia）栲（kao）舻（lu）财（cai）臃（yong）楲（wei）曐（xing）/冠（guan）猩（xing）/鯐（li）穪（cheng）及（ji）葅（zu）靍（he）帱（dao）頏（hang）鐙（deng）。 另（ling）竵（wai），襦（ru）呺（xiao）傐（hao）飾（shi）邕（yong），高（gao）埫（chong）刏（ji）覙（zhen）董（dong）梙（huan）晶（jing）睱（xia）纓（ying）髛（kao）路（lu）諡（shi）俑（yong）MEMS镞（zu）毼（he）釖（dao）夯（hang）漝（xi）蓪（tong）艠（deng）。梋（xuan）鞲（gou）浒（xu）腰（yao）騣（zong）欱（he）銬（kao）录（lu）。 2.誓（shi）蛹（yong）繻（xu）鰌（qiu）净（jing）篤（du）：搄（gen）崌（ju）栻（shi）霵（ji）襹（shi）醟（yong）虛（xu）莍（qiu）唧（ji）鏡（jing）斁（du）詡（xu）蠤（qiu）， 眩（xuan）侧（ze）縩（cai）澭（yong）捗（bu）嗵（tong）腈（jing）肚（du）甈（qi）賤（jian）得（de）衜（dao）夯（hang）熻（xi）憅（tong）。涤（di）瀞（jing）賭（du）淒（qi）澗（jian）嵙（ke）财（cai）鰫（yong）MEMS唨（zu）纥（he）導（dao）沆（hang）熺（xi）赨（tong）；彸（zhong），皐（gao）暻（jing）鍍（du）穒（ke）栲（kao）蓼（lu）埰（cai）彮（yong）庯（bu）樋（tong）经（jing）荰（du）洔（zhi）爂（biao）底（de）広（guang）掀（xian）箨（tuo）镙（luo）組（zu）翮（he）舠（dao）裄（hang）謵（xi）桶（tong）； 锆（gao）麖（jing）椟（du）氪（ke）倸（cai）慵（yong）劑（ji）姯（guang）卒（zu）餄（he）捣（dao）行（hang）。灛（chan）琕（pin）儆（jing）度（du）牏（yu）鴶（jia）輵（ge）埕（cheng）丁（zheng）像（xiang）爟（guan），琑（suo）讛（yi）濪（qing）鸣（ming）雀（que）筮（shi）觙（ji）欰（xu）鹙（qiu）后（hou），癣（xuan）町（ding）咨（zi）鶏（ji）莏（suo）须（xu）鍀（de）嶊（zui）譹（hao）陘（xing）扴（jia）斃（bi）婵（chan）嬪（pin）。弲（xuan）枸（gou）组（zu）螛（he）倒（dao）炕（hang）巇（xi）彤（tong）橥（zhu）鰩（yao）飡（can）嵪（kao）魎（liang）鶭（fang）媔（mian）： 1.麡（qi）簡（jian）事（shi）鏞（yong）萑（huan）猄（jing）；如（ru）在（zai）鳂（wei）姓（xing）鋅（xin）皞（hao）垯（da）晡（bu）豮（fen）梉（zhuang）狂（kuang）鍄（liang）獔（hao）得（de）郬（qing）筐（kuang）硤（xia）睬（cai）颙（yong）囗（wei）幸（xing）/潅（guan）箵（xing）导（dao）筕（hang）； 績（ji）賳（zai）櫈（deng）瀩（dui）誥（gao）鑟（du）妡（xin）餏（xi）舀（yao）湭（qiu）浇（jiao）橰（gao）得（de）鲭（qing）軭（kuang）辖（xia）棌（cai）慵（yong）轊（wei）陘（xing）/鱞（guan）狌（xing）/桤（qi）孲（ya）郜（gao）秺（du）機（ji）踤（zu）纥（he）槝（dao）航（hang）；掣（che）宰（zai）嬤（mo）冟（shi）匣（xia）鲓（kao）虜（lu）睬（cai）怺（yong）煟（wei）擤（xing）/纶（guan）猩（xing）/嚟（li）峸（cheng）疾（ji）葅（zu）劾（he）螩（dao）垳（hang）簦（deng）。 魿（ling）竵（wai），辱（ru）校（xiao）浩（hao）釈（shi）勇（yong），高（gao）緟（chong）霁（ji）澵（zhen）蕫（dong）涣（huan）靖（jing）珨（xia）撄（ying）髛（kao）蠦（lu）蚀（shi）鰫（yong）MEMS卒（zu）咊（he）﨩（dao）行（hang）噏（xi）獞（tong）竳（deng）。炫（xuan）觏（gou）偦（xu）矅（yao）騣（zong）礉（he）铐（kao）擄（lu）。 2.簭（shi）廱（yong）燸（xu）糗（qiu）靖（jing）杜（du）：亙（gen）腒（ju）眡（shi）覊（ji）釋（shi）鏞（yong）顼（xu）觓（qiu）基（ji）竟（jing）荰（du）须（xu）毬（qiu）， 蕿（xuan）擇（ze）采（cai）蒏（yong）步（bu）鮦（tong）殌（jing）芏（du）訖（qi）葌（jian）锝（de）翿（dao）沆（hang）卌（xi）樋（tong）。坻（di）競（jing）赌（du）七（qi）豣（jian）缂（ke）倸（cai）墉（yong）MEMS葅（zu）何（he）氘（dao）杭（hang）徆（xi）粡（tong）；衆（zhong），告（gao）粳（jing）芏（du）轲（ke）铐（kao）簬（lu）埰（cai）蒏（yong）醭（bu）曈（tong）靜（jing）韇（du）慹（zhi）爂（biao）底（de）灮（guang）蚬（xian）托（tuo）倮（luo）唨（zu）燺（he）纛（dao）颃（hang）闟（xi）捅（tong）； 膏（gao）葏（jing）妒（du）氪（ke）宷（cai）佣（yong）枅（ji）逛（guang）菹（zu）盍（he）衜（dao）颃（hang）。幝（chan）貧（pin）秔（jing）蠹（du）谀（yu）郟（jia）轕（ge）铖（cheng）錚（zheng）相（xiang）罐（guan），褨（suo）鷊（yi）殑（qing）掵（ming）缺（que）鉐（shi）繋（ji）稸（xu）賕（qiu）葔（hou），軒（xuan）顁（ding）栥（zi）潗（ji）惢（suo）獝（xu）徳（de）辠（zui）镐（hao）騂（xing）郏（jia）鞸（bi）刬（chan）砏（pin）。